Anwendung · Encoder
Encoder-Scheiben & Maßverkörperungen ätzen
Drehgeber- und Linear-Encoder-Skalen aus geätztem Metall bieten höchste Teilungsgenauigkeit, gratfreie Kanten und konstante Materialeigenschaften, entscheidend für die Messgenauigkeit von Positioniersystemen.
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Kurz: Encoder-Scheiben mit Strichteilungen ab ca. 0,05 mm Strichbreite werden chemisch geätzt, meist aus Edelstahl 1.4404 für Standard-Anwendungen oder Invar (FeNi36) für temperaturstabile Präzisionssysteme.
Warum Ätzen für Encoder-Scheiben?
- Höchste Teilungsgenauigkeit – die Photomaske wird mit ± 1 µm Genauigkeit erstellt
- Gratfreie Kanten – kritisch für optische Encoder, da Grat Streulicht erzeugt
- Keine HAZ – kein Verzug, keine thermische Ausdehnungs-Inhomogenität
- Reproduzierbar in Großserie – Teilungs-Konstanz über tausende Scheiben hinweg
- Auch für Invar verfügbar – temperaturstabile Maßverkörperung für Hochpräzisions-Messtechnik
Encoder-Typen
- Inkrementale Encoder-Scheiben – periodische Strichteilung, oft mit Indexspur
- Absolute Encoder-Scheiben – Gray-Code, Pseudo-Random oder digital codierte Teilungen
- Linear-Encoder-Skalen – gerade Maßverkörperung für Lineartische und Werkzeugmaschinen
- Reflektive vs. transmittive Encoder – beide mit geätzten Strukturen realisierbar
Typische Bauteildaten
| Parameter | Typischer Wert |
|---|---|
| Material | Edelstahl 1.4404, Invar (FeNi36), Glas-Substrat mit Cr-Beschichtung |
| Materialdicke | 0,1 – 0,5 mm |
| Minimum Strichbreite | ≈ 50 µm (materialabhängig) |
| Teilungs-Genauigkeit | ± 2 – 5 µm bei sorgfältiger Auslegung |
| Konzentrizität | typ. ± 5 µm |