Verfahren

Ätzverfahren im Überblick

Ätzen ist ein subtraktives Fertigungsverfahren, bei dem Material kontrolliert durch chemische, elektrochemische oder physikalische Prozesse abgetragen wird. Im Industriealltag sind vier Verfahren relevant — jedes mit eigenem Anwendungsfeld.

Kurz beantwortet: Für gratfreie Präzisions-Bauteile aus Metallblech wählen Sie chemisches oder fotochemisches Ätzen. Für Markierungen und schonenden Abtrag elektrochemisches Ätzen. Für Halbleiter- und Mikrostrukturen Trockenätzen.

Verfahren 1

Chemisches Ätzen (Nassätzen)

Materialabtrag durch saure oder alkalische Ätzlösungen. Standard-Verfahren für gratfreie Präzisions-Bauteile aus Blech. Stückzahlen von Prototyp bis Großserie.

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Verfahren 2

Fotochemisches Ätzen

Photoresist + UV-Belichtung + Ätzlösung. Höchste Strukturpräzision und Reproduzierbarkeit. Ideal für komplexe Geometrien aus dünnen Blechen (0,02–2,0 mm).

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Verfahren 3

Elektrochemisches Ätzen

Stromgestützter Materialabtrag — schonend, präzise, ideal für Markierungen, Typenschilder und Mikrostrukturen ohne mechanische oder thermische Einwirkung.

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Verfahren 4

Trockenätzen (Plasma / RIE)

Physikalisch-chemischer Abtrag durch reaktive Gase im Plasma. Domäne der Halbleiter- und MEMS-Fertigung. Höchste Strukturauflösung im Mikro- und Nanobereich.

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Vergleich mit anderen Fertigungsverfahren

Lasern vs. Ätzen — Wann lohnt sich welches Verfahren? Toleranzen, Wärmeeintrag, Stückzahl-Logik.
Stanzen vs. Ätzen — Werkzeugkosten, Gratbildung, geometrische Freiheit.

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